螺桿真空泵跟螺桿式式緊縮機類似,螺桿式干式真空泵的工作進程可分為吸氣、緊縮和排氣三個進程。
與螺桿式緊縮機類似,螺桿式干式真空泵的工作進程可分為吸氣、緊縮和排氣三個進程。跟著轉子的旋轉,每對互相嚙合的齒相繼結束相同的工作循環,如今以其中一對齒來說明。
吸氣進程:
陽轉子按逆時針方向旋轉,陰螺桿按順時針方向旋轉。圖中上方的轉子端面是吸氣斷面,下方的端面為排氣端面。
緊縮進程:
轉于端面是排氣端面。在這里,陽轉子沿順時針方向旋轉,陰轉于沿逆時針方向旋轉。圖中上方的轉子端面是吸氣斷面,下方的端面為排氣端面。