臭氧發生器有以下部分組成：

- 氣源入口和分布室；

- 高壓分配安裝在氣源入口分布室，為臭氧發生單元提供電能；

- 發生器罐體，臭氧放電體安裝在里面；

- 臭氧出口收集室；

- 冷卻水腔，在發生器罐體和通過兩端已焊接的密封的不銹鋼管隔離，作為冷卻水腔。

- 冷卻輸入口和出口管道；

- 放電體安裝在不銹鋼管內；

- 罐體作為接地電極；

放電體數量在設計時留有充足的余量，即使由于不可預見故障放電單元損壞（最高10％），臭氧系統還可以達到全負荷工作，臭氧產量不會低于設計產量，這樣可以保證臭氧系統能繼續正常運行直到計劃的維護時間再檢修。

部分不能生產臭氧的能量轉化為熱能釋放，必須通過冷卻水腔流過足夠流量的冷卻水帶走。臭氧發生器運行在6000V電壓和800HZ頻率條件下。該參數的選擇不僅僅是為了提供優化的條件高效發生臭氧，而且是由于安全可靠的設計思路。6000V的放電電壓大大減少了電力沖擊，保證了放電體的使用壽命更長。發生器設計為24小時連續工作，每一臺預先安裝好了相關的儀表和閥門。臭氧發生器是完全一體化安裝的，出廠前已將管道，閥門、儀表和電纜安裝在發生器上，而且全套系統在工廠已完成了全部測試。