一般高純氣體輸送系統的質量控制主要由壓力試驗、氦泄漏檢測、水分分析、氧分分析和顆粒度分析組成,有些特殊的場合還會涉及到總碳氫化合物等物質的分析測定。一些工業氣體系統還會涉及到X射線探傷等檢查。本文主要針對高純氣體系統,對于工業氣體系統的質量控制暫不作討論。
高純氣體系統的壓力測試,主要是為了檢查氣體系統的氣密性及耐壓性,為避免污染,高純系統壓力測試采用氣壓試驗,不可采用水壓試驗,不得使用檢漏液。試驗氣體應采用高純氮氣或氬氣,不可采用氦氣。試驗用壓力計已經校驗,并在校檢期內。試驗用壓力表,直徑應大于150mm。對于低壓(<150p sig),要求最小刻度為1p sig;對于高壓(>500p sig),最小刻度可采用5p sig的刻度;壓力測試分耐壓測試和保壓測試兩種。耐壓測試采用設計壓力的115%,時間30m in。保壓測試采用設計壓力的90%,時間24h;特氣系統的測試壓力最高不超過2000p sig,一些超高壓系統壓力測試一般加增壓泵輔助增壓的方式進行。考慮溫度修正后,壓降值不得超過1%。
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